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FISCHER X射線測厚儀XULM240信息

更新時間:2025-07-31   點擊次數:152次

高精度檢測能力
菲希爾X射線測厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XULM240 配備微聚焦 X 射線管(焦點尺寸≤50μm)和可電動切換的準直器(最小測量點直徑 0.1mm),可精準測量半導體芯片金線鍍層、精密傳感器電極等微型結構115。其比例計數器探測器能實現高計數率,配合菲希爾基本參數法,無需標準片即可完成高精度測量,鍍層厚度測量精度可達納米級(如 80nm 金鍍層的重復精度為 2.5nm)524。

智能化測量系統
儀器內置 500 萬像素彩色視頻顯微鏡,支持 38x-184x 光學變焦,可實時觀察樣品表面細節并標記測量區域,定位精度達 ±0.005mm59。通過 WinFTM® 軟件可實現測量程序預設(最多 100 組)、數據統計分析及報告生成,滿足 ISO 9001 等質量管理體系要求59。





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